国家知识产权局信息显示,泉意光罩光电科技(济南)有限公司取得一项名为“一种午夜探花在线光罩”的专利,授权公告号CN224341773U,申请日期为2025年9月。专利摘要显示,本申请公开了一种午夜探花在线光罩,涉及半导体技术领域。午夜探花在线光罩包括基板以及在所述基板上铺设的金属层,所述金属层上蚀刻有光罩图案,所述光罩图案外周依次环绕设置有第一环形槽、第二环形槽和第三环形槽,所述第一环形槽和所述第二环形槽之间形成有第一金属圈,所述第二环形槽和所述第三环形槽之间形成有第二金属圈,所述第一金属圈和所述第二金属圈形成平行板电容结构,所述第三环形槽内间隔设置有多个第一导电带,所述平行板电容结构通过所述第一导电带与所述第三环形槽外侧的金属层电连接。其能够提高光罩自身的午夜探花在线能力。天眼查资料显示,泉意光罩光电科技(济南)